半導体製造におけるCMP研磨スラリーサプライヤー市場
化学機械研磨(CMP)スラリーは、半導体製造プロセスにおいて層間絶縁膜(ILD)、浅溝分離(STI)、タングステン(W)、銅(Cu)配線などの平坦化に不可欠な材料です。2026年時点で市場規模は約24.4億米ドル、2035年までに37.5億米ドルに達すると予測されており、先端プロセスノード(5nm以下)への移行、AI・データセンター需要の拡大、先端パッケージング技術の普及が成長を牽引しています。
市場構造と主要サプライヤー
グローバルCMPスラリー市場は上位3社で約51%のシェアを占める寡占市場です。Entegris(旧CMC Materials買収)が23.0%でトップシェアを持ち、先端ノード対応の包括的CMPソリューションと精密製造技術で競争優位を確立しています。日本のFujimi Incorporatedは精密研磨材のパイオニアとして、シリコンウェハ研磨とCMPスラリーの両分野で強固な地位を築いています。
2019年にMerck KGaAに買収されたVersum Materialsは、高純度プロセスケミカルとCMPスラリーを北米・アジア・欧州の14拠点から供給。韓国のSoulbrainはHBM(高帯域幅メモリ)製造向けCMPスラリーで韓国市場を独占していましたが、現在はDongjin SemichemやKC Techとの競合が激化しています。
| 企業 | 主要製品 | 技術的強み |
|---|---|---|
| Entegris (CMC Materials) | シリカ、セリア、タングステン、銅スラリー | 次世代パーティクル工学、特殊化学プラットフォーム |
| Fujimi Incorporated | 精密研磨材、CMPスラリー | パーティクルエンジニアリング、品質一貫性 |
| DuPont | 先端材料ソリューション | 配合能力拡張、新興アプリケーション対応 |
| Cabot Corporation | CMPスラリー、研磨パッド | 包括的CMP消耗品ポートフォリオ |
技術トレンドと調達戦略
先端プロセスノード(3nm、2nm)の量産移行に伴い、超微細パターン対応スラリー、低欠陥密度、ディッシングとエロージョンの最小化が求められています。従来の調達先が限定的だったファブは、複数サプライヤーからの技術仕様比較と価格交渉力強化を目的に、サプライチェーン多様化を進めています。
特にHBM製造では、SK Hynixが従来のSoulbrain独占体制からDongjin Semichem等への供給先多様化を推進。また、Merck KoreaやEntegrisは2024-2026年にかけてアジア地域の生産能力拡張と研究開発投資を強化しており、地域密着型の技術サポート体制構築が競争要因となっています。
Entegrisは2024年にCMPスラリー収益が前年比14%成長、CMPパッドは24%成長を記録。2025年にはCMP関連製品全体で3倍の成長を見込んでいる。
地域別供給体制
北米ではEntegris、DuPont、Cabot(現Entegris傘下)が研究開発と製造拠点を維持。日本はFujimi、Resonac(旧昭和電工マテリアルズ)が国内半導体産業との密接な協業関係を持ちます。韓国・台湾ではSoulbrain、KC Tech、Dongjin Semichem等のローカルサプライヤーがファウンドリ・メモリメーカーとの緊密な連携で納期とカスタマイゼーションに優位性を発揮しています。